初夏已至，在湖北超芯智能裝備有限責(zé)任公司（以下簡(jiǎn)稱“超芯”）的裝配車間內(nèi)，技術(shù)工人正在對(duì)全自動(dòng)刻蝕機(jī)進(jìn)行組裝、點(diǎn)檢、調(diào)試，生產(chǎn)熱度正持續(xù)升溫。

半導(dǎo)體作為數(shù)字技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)，每年為全球貢獻(xiàn)超過5000億美元的產(chǎn)值。而在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，裝備制造是最具挑戰(zhàn)的環(huán)節(jié)之一。

如何攻克半導(dǎo)體裝備制造相關(guān)技術(shù)攻堅(jiān)與產(chǎn)業(yè)瓶頸難題？“超芯”的回答是：創(chuàng)新！

全自動(dòng)刻蝕機(jī)。

這家位于孝感高新區(qū)的高新技術(shù)企業(yè)，以設(shè)計(jì)研發(fā)和制造顯示半導(dǎo)體清洗設(shè)備為主，核心產(chǎn)品線涵蓋全自動(dòng)刻蝕機(jī)、超高壓濺射噴霧系統(tǒng)、納米氣泡發(fā)生系統(tǒng)等清洗設(shè)備。

“超芯”總經(jīng)理劉春新介紹，在2020年，公司就已布局半導(dǎo)體行業(yè)。2023年，為適應(yīng)市場(chǎng)需求，在孝感設(shè)立生產(chǎn)制造基地，專注于半導(dǎo)體顯示行業(yè)自動(dòng)化制造設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、組裝、測(cè)試以及行業(yè)內(nèi)設(shè)備開級(jí)改造，為客戶提供全方位WET制程設(shè)備方案和制作。

憑借自主創(chuàng)新的精密控制技術(shù)，“超芯”持續(xù)做深做精半導(dǎo)體清洗設(shè)備，部分產(chǎn)品打破了國(guó)外廠商在高端半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷，突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，解決了行業(yè)“痛點(diǎn)”，有效提升半導(dǎo)體制造的整體水平和競(jìng)爭(zhēng)力。

“半導(dǎo)體和面板最大的敵人就是微顆粒。以全自動(dòng)刻蝕機(jī)為例，該產(chǎn)品具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片支撐，適配12英寸晶圓制造需求。”劉春新說，可實(shí)現(xiàn)微觀層面100納米級(jí)顆粒的精準(zhǔn)清洗，清洗效果處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。相較于國(guó)外同類設(shè)備，能有效節(jié)約40%-50%的生產(chǎn)成本，服務(wù)成本僅為國(guó)外的三分之一，是孝感乃至湖北省首個(gè)同類自主研發(fā)制造的設(shè)備。

據(jù)了解，該企業(yè)去年出貨量達(dá)70-80臺(tái)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值1000萬元；今年，隨著市場(chǎng)需求擴(kuò)大和產(chǎn)能提升，預(yù)計(jì)產(chǎn)值將突破3000萬元。目前，該企業(yè)相關(guān)設(shè)備已廣泛應(yīng)用于京東方、華星光電等頭部企業(yè)的先進(jìn)生產(chǎn)線，成為國(guó)內(nèi)顯示半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的重要參與者。

策劃：左硯文、喇曉光

記者：楊卓玉

通訊員：宋晴

出品：孝感高新區(qū)辦公室、荊楚網(wǎng)（湖北日?qǐng)?bào)網(wǎng)）